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美国INFICON电子检漏仪
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INFICON检漏仪 电子检漏仪
· 用组合法拉*杯/电子倍增器的各种原子质量单位范围
· 自动EM增益调整
· 九十年的动态范围
· 自动调谐质量位置和分辨率
· 可变的驻留时间优异的信号噪声比
· 5E-15乇MDPP（100 AMU版）
INFICON检漏仪 电子检漏仪
典型应用:
· 氦检漏各种工具模块
· 模块的条件进行预防性维护监测
· 记录数据后预防性维护
· 率上升的测量
· 背景状态监测
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