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美国INFICON 标定用漏孔

漏孔是在真空技术中,在压力或浓度差作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙渗透的元件。
 
中文名称:漏孔英文名称:leak 相关概念:漏孔、漏率及其单位 真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样,无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。 用漏率表示漏孔大小时,如果不加特殊说明,则是指在漏孔入口压力为1.01× 105Pa,出口压力低于 1.33× 103Pa,温度为 296 士 3K 的标准条件下,单位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K 的空气的气体量。 漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,记为 Pa.m3/s。为了方便,有时用帕斯卡.升/秒,记为Pa.L/s。漏孔的气流特性 气体流经漏孔的过程是很复杂的,可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。标准漏孔 标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量(即漏率)的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明,则指温度为 296± 3K、入口压力为 1.01× 105Pa、出口压力低于 1.33× 103Pa 的干燥空气(其露点温度低于 248K)的漏率。


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