3900系列宽带等离子图案晶圆外置气缸
超分辨率宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统 3900系列宽带等离子体缺陷检测系统支持前沿IC器件的晶圆级缺陷发现,工艺调试和偏移监控。3900系列采用创新的硬件技术生产超分辨率深紫外(SR-DUV)波段。当与**算法(如pin point 和super cell )结合使用时,3900系列的SR-DUV可在≤10nm设计节点设备上的高产量关键模式位置中提供高灵敏度的缺陷捕获。凭借支持内联监控要求的吞吐量,3900系列将灵敏度与速度相结合,实现了Discovery of Light ,以减少缺陷发现所需的时间,并提供晶圆级数据,以完整地表征过程问题。 显示较少
应用
缺陷发现,热点发现,流程调试,EUV打印检查,工程分析,生产线监控,流程窗口发现
相关产品
2930和2935:光学宽带等离子晶圆缺陷检测器,补充3900系列的检测性能,用于≤10nm设计节点器件的缺陷发现。
2930系列宽带等离子图案晶圆外置气缸
宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统
2930系列宽带等离子体缺陷检测系统在光学缺陷检测方面取得了进步,可以在**IC器件上发现良率关键缺陷。2930和2935宽带等离子体缺陷检测仪采用增强型宽带等离子照明技术,新型光学模式,pin point 和super cell 技术,可提供捕获各种工艺层,材料类型和进程栈。2930系列将灵敏度与光学晶圆缺陷检测速度相结合,实现了Speed of Light 的发现 - 快速缺陷发现和以拥有成本*全表征缺陷问题。作为在线监测的行业标准,29xx系列可以保护工厂
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应用
缺陷发现,热点发现,流程调试,工程分析,生产线监控,流程窗口发现
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3900和3905:具有超分辨率深紫外(SR-DUV)波段的光学宽带等离子晶圆缺陷检测器,可补充2930系列的检测性能,以便在≤10nm设计节点器件上发现缺陷。
2920和2925:光学宽带等离子体晶圆缺陷检测器,可在16nm及以下的存储器和逻辑器件上提供良率关键的缺陷捕获。
2910和2915:光学宽带等离子体晶圆缺陷检测器,可在2X / 1Xnm存储器和逻辑器件上提供与产量相关的缺陷捕获。
2900和2905:光学宽带等离子体晶圆缺陷检测器,可在2Xnm存储器和逻辑器件上捕获与产量相关的缺陷。
激光扫描图案化晶圆缺陷检测系统
Voyager 1015激光扫描检测系统支持生产斜坡缺陷监测,专门用于浸没(193i)和EUV光刻的后显影检测(ADI),此时晶圆仍可进行返工。DUV激光器,新的光学设计和的采集立体角产生了ADI在先进设计节点上发现的紧密节距所需的缺陷灵敏度。定制传感器和可切换激光器可以检测精*光刻胶材料,而倾斜照明和先进算法可抑制ADI检测固有的噪声源,从而获得更相关的结果。Voyager 1015可提供光刻电池和晶圆厂其他模块中关键缺陷的高吞吐量捕获,从而可以快速识别和纠正过程问题。
应用
线路监控,工具监控,工具*证,193i和EUV抗拒资格
Puma 9980激光扫描图案晶圆系统
激光扫描图案化晶圆缺陷检测系统
Puma 9980激光扫描检测系统具有多种灵敏度和速度增强功能,能够捕获大量制造所需的吞吐量(1Xnm**逻辑和**DRAM和3D NAND存储器件)。作为**晶圆缺陷检测和审查工具组合的一部分,Puma 9980通过增强先进图案层上缺陷类型的捕获,为生产斜坡监控提供吞吐量的解决方案。Puma 9980采用NanoPoint 设计感知功能,通过提高缺陷灵敏度,改进系统滋扰分级和加强缺陷坐标精度,产生更多可操作的检测结果。
线路监控,工具监控,工具资格*证
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Puma 9850:为2X / 1Xnm存储器和逻辑器件提供所有管芯区域的高灵敏度偏移监控。
Puma 9650:在≤28nm内存和逻辑器件的所有芯片区域提供高性能的偏移监控。
Puma 9500:为≤32nm内存和逻辑设备提供高性能的偏移监控。
8系列高生产力被仿造的薄酥饼特写镜头
8系列
**率图案化晶圆宽范围检测系统
8系列图案化晶圆检测系统以*高的吞吐量检测各种缺陷类型,以快速识别和解决生产过程问题。8系列可实现150mm,200mm或300mm硅和非硅衬底晶圆的成本效益缺陷检测,从*初的产品开发到批量生产,通过提供更高的批次和晶圆采样,帮助晶圆厂降低偏移风险。8系列晶圆缺陷检测系统采用LED扫描技术,具有可选择的光谱,同时明场和暗场光路以及自动晶圆缺陷分级,旨在使**的IC晶圆厂和传统节点晶圆厂能够加速其产品的交付 - 可靠且可靠更低的花费。
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应用
过程监控,工具监控,出厂质量控制(OQC)
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CIRCL: 8系列检测技术也可作为CIRCL缺陷检测,计量和审查集群工具的模块。
放大CIRCL全表面晶圆
全表面晶圆缺陷检测,计量和检查集群系统
CIRCL 集群工具有四个模块,覆盖所有晶圆表面,以高吞吐量提供并行数据采集,实现**的过程控制。包含***一代CIRCL5系统的模块包括:正面晶圆缺陷检测; 晶圆边缘缺陷检查,轮廓,计量和审查; 背面晶圆缺陷检查和审查; 并且,正面缺陷的光学检查和分类。数据采集由DirectedSampling 控制,DirectedSampling 是一种创新方法,它使用一次测量的结果触发群集中的其他类型的测量。CIRCL5的模块化配置可灵活满足不同的过程控制需求,节省整个晶圆厂空间,缩短晶圆排队时间,并提供经济**的升级途径,以保护晶圆厂的资本投资。
Surfscan SP3无图案晶圆检测系统
无图案晶圆缺陷检测系统
该的Surfscan SP7无图形晶圆检测系统通过以下*证支持**的逻辑和存储器设计节点:工艺,材料和工具,包括用于IC制造的EUV光刻技术; 用于基板制造的先进基板,例如主要硅,外延和SOI晶片; 和设备制造的加工工具性能。Surfscan SP7采用具有峰值功率控制的DUV激光光源,新颖的光学架构,一系列光斑尺寸和先进的算法,可为裸晶圆,光滑和粗糙的薄膜以及易碎的抗蚀剂提供*高的灵敏度和增强的缺陷分类。光刻堆栈。Surfscan SP7还集成了高分辨率SURFmonitor 模块,可以表征表面质量并检测细微缺陷,从而帮助确定流程和工具的质量。
应用
工艺*证,工具*证,工具监控,输出晶圆质量控制,进线晶圆质量控制,EUV抗蚀剂和扫描仪*证,工艺调试
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Surfscan SP5 XP:无图形晶圆表面检测系统,具有DUV灵敏度和高吞吐量,适用于1Xnm设计节点的IC,基板和设备制造。
Surfscan SP5:无图形晶圆表面检测系统,具有DUV灵敏度和高吞吐量,适用于2X / 1Xnm设计节点的IC,基板和设备制造。
Surfscan SP3:具有DUV灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆检测系统,适用于2Xnm设计节点的IC,基板和设备制造。
电子束晶圆缺陷检查和分类系统
eDR7280 电子束(电子束)晶圆缺陷检查和晶圆分类系统可捕获高分辨率的缺陷图像,以准确表示晶圆上的缺陷数量。eDR7280缺陷检测系统利用*五代电子束浸没式光学系统和实时自动缺陷分类(RT-ADC 2.0)功能,提供重新定位,成像和分类产量关键缺陷所需的性能,以实现前沿设计节点。eDR7280具有多种创新应用,可满足广泛的晶圆厂使用案例,包括临界点检测(CPI),光罩缺陷检查,无图形晶圆缺陷检查和工艺窗口*证。
秦皇岛维克主要经营德国、英国、法国、意大利等欧洲国家以及美国、加拿大,各大生产商的各种进口工业产品。十几年的国际贸易经验和*业的销售团队、售后技术支持,使我们积累了大量的重要客户和*质的产品供应商。在业内拥有良好口碑和信誉。秦皇岛维克欧洲区总部位于德国法兰克福,美国区总部坐落于新泽西,在那里我们均配有专门的货仓及配套的运输公司,保证每周至少一次航班将货物运抵北京并正规报关。
秦皇岛维克托中国总代理品牌有:
Pearson(皮尔逊电子),Rehobot(液压产品),Copeland(球阀),Autoflow(流量开关),Airtrol(开关),North Star(探头),Lynair(气缸),Kemkraft(方向盘)等。
秦皇岛维克托经销的优势品牌有:
● HUMPHREY快速排气阀、美国PLAST-O-MATIC稳压阀、美国Vickers阀门、德国BAR气动球阀、荷兰GORTER检修包、德国G.BEE球阀、德国H+L电磁阀
● 阀门附件:美国PMV阀门定位器回讯器 、美国Go Switch开关、TopWorx 阀门控制器、美国STONEL阀位回讯器、限位开关(斯通奈尔)、Masoneilan减压阀、WESTLOCK阀门控制装置(西索)、瑞典REMOTE、CONTROL执行器、美国jamebury气动执行器 (詹姆斯伯雷)
● 检测仪表: 美国FIREYE火检系统、德国Durag火焰检测器、美国NORTH、AMERICAN喷油嘴总成(北美)、 美国 Fire sentry火焰探测器
● 过滤产品:美国NUGNET滤芯(牛津特) 美国HELCO 滤芯 德国MAHLE过滤器 滤芯 美国Des.Case空滤器 德国VOTECH滤网 滤芯 意大利FILTREC滤芯 ,意大利MP FILTRI滤芯(翡翠)
● 工业电气: 德国SCHUHMANN、MESSTECHNIK频率转换器、美国Dongan变压器、美国Micron变压器、加拿大ALLANSON点火变压器、德国wachendorff信号转换器、美国MARARHON电源分配器、德国PAUL-VAHLE集电器、美国GLEASON REEL电缆卷筒、美国BLACK BOX、美国pearson电流传感器、德国HIQUEL控制模块、美国ACME变压器、美国LA MARCHE充电器、德国Walther插头
● 流量仪表:美国Brooks流量计/阀门、美国GENTRAN
● 气动元件: 美国fabco-air气缸、美国RAPID AIR活塞、美国R&I气缸、美国Airpel气缸
● 机械传动:德国KTR联轴器、德国SMW卡盘、德国SMW轴承、德国FIPA吸盘、美国WICHITA离合器、美国NEXEN离合器、美国WARNER电磁抱闸、美国magnaloy联轴器、美国TB WOODS联轴器
● 传 感 器:法国BEI编码器、德国GEMCO传感器、美国SENSOTEC压力传感器、美国NOSHOK压力变送器、美国Vitec振动传感器、美国AI-TEK转速探头 传感器、美国k-tek(液位仪表)、美国PROVIBTECH通用型振动探头、美国Teledyne传感器 配件 、德国hubner编码器、美国VIBCO振荡器
● 泵 电 机:美国LESSON电机/减速机、德国AC-MOTO电机、瑞典atlas copco马达、美国AMETEK电机、美国DAYTON电机、美国VICKERS泵、美国GARDNER DENVER泵、美国dynapar编码器、美国Harowe编码器、德国SPECK泵、墨西哥A.O.SMITH电机、德国loher电机
● 其 他:美国GE燃机/热电偶、美国CONAX GE热电偶、美国ITT NEO-DYN压力开关、美国DEUBLIN接头、美国FAIRCHILD增压器、美国HOTWATT加热棒、德国Walter+Hartmann张力显示表、奥地利JAKO温度表、美国BRISKHEAT加热带、加拿大GREYSTONE变送器、德国HAINZL油缸、美国linemaster脚踏开关、美国TOOLTRONICS探针、德国MESSKO油温度计、美国KEY流量计、美国TORQ超速开关、德国VOITH电液转换器