服务机台

　　刻蚀（ET）：LAM　9400、9600

　　AMAT　CENTURA　II＆I

　　AMAT　SEMVision　G2

　　离子注入（DF）：VARIAN

　　EATON（axcelis）

　　NISSIN

　　AMAT　PI9500　9200

　　光刻（PH）：NIKON　NSR

　　ASML　5500

　　太阳能光伏PECVD：centrotherm（管式镀膜）Roth＆Rau（平板式镀膜德国）