介质求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体,请参考背面
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
测量范围 0.01~100
*大显示流量 128*满量程
显 示 屏 带按键背光开关,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± (0.8*读数 + 0.2*满量程)见上段精度升级部分
± (0.4*读数 + 0.2*满量程)(可选)
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5*额外误差
重 复 性 ±(0.2*读数+0.02*满量程)
质量流量温度漂移 0.03*满量程当温度从25℃起每变化1℃
质量流量压力漂移 ±(0.08 *读数 + 0.02 *满量程)当压力从标定压力起,每变化1bar
响应时间 优于10 ms
预热时间 < 1 s
标定工况 25 ℃&1 Atm(可现场在测量范围内随意更改)
工作温度 -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ~ 95 *,无冷凝
*大工作压力 0.3 MPa表压,进出口*大允许瞬时压差70 Kpa
*低操作压力 如果不做真空特殊标定,建议在绝压80 KPaA以上使用;其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5*读数(读数>1 Atm),或±0.1PSIA(<1Atm)
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率;
模拟信号:1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可选*二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 *满量程误差
供电电压 7 - 30 VDC(如选4 - 20 mA输出,须为15 - 30 VDC)
供电电流 40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)
电气接口 DB9,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率(外漏) 选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝