一维测量系统XD –1D标准型&精*型
三维测量系统XD –3D
五维测量系统XD –5D标准型&精*型
六维测量系统XD –6D 标准型&精*型
测量机床全部误差所用的时间越短,越能够反映所测机床的真实情况。当用传统干涉仪测量时,因在测量各项指标时更换光学镜调整光路上要浪费大量的时间,难以保证机床检测数据的稳定性和重复再现性。XD系列激光干涉仪约在2000年进入中国市场,结合激光干涉技术和光电自准直技术:不*可用于精度的*终评价, 也可用于机床的安装调整。XD Laser 激光干涉仪是API公司的产品。-次安装即可以测得6个参数.包括1个位置度误差. 2个直线度误差和3个角度误差。通常时间需数天进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成。实际应用结果表明:可节省时间高达80*。
API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计,将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开,从而避免了干涉镜受热变形,用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连,从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后,使得干涉镜不受影响,保证了测量准确性。
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